石墨舟的预热及预处理方法

石墨舟的预热
    1.烘干后的石墨舟由出产、工艺、设备查看无损坏后，一起将石墨舟进行预热。
    2.预热时石墨舟内不放硅片，将需求预热的舟放入闲暇的炉管，此炉管不进行工艺，只需手动把真空泵的阀门打开就行了。
石墨舟的预处理（镀舟）
    将空的石墨舟由出产、工艺、设备承认无反常之后，把石墨舟放进炉管开始进行预处理（镀舟），其他的步骤跟正常的出产工艺都一样，但到“淀积”那一步时将工艺坚持一个小时，然后再进行下面的步骤，等到工艺完毕，石墨舟从炉管内出来之后，经工艺人员承认之后，这个石墨舟就可以正常使用了。