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石墨舟装片房和石墨舟装载房的主要特点是什么
发布作者:jcadmin 发布时间:2024年03月12日
石墨舟装片房:用于太阳能职业与PECVD承载车配套、装取硅片、制造中效及高效过滤器,确保吹出的空气抵达净化要求。
石墨舟作业原理:
空气通过高效过滤后,阻尼层均压,使洁净的空气气流笔直单向送入装片作业区,然后确保了作业区内抵达工艺要求的洁净度,操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。
石墨舟主要特点:
1、能精确的使石墨舟承载装片车定位;
2、选用不锈钢制造,整机结构安定可靠;
3、选用GK系列高效空气过滤器3只;
4、PECVD承载车在里面可歪斜15度或旋转180度;
5、净化风机噪音小于50dB。
6、确保了作业区内抵达工艺要求的洁净度100级。
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