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石墨治具的使用要求
发布作者:jcadmin 发布时间:2024年03月18日
石墨治具的运用要求
石墨治具是用于在半导体制造过程中承载、固定和维护芯片的石墨制件。在运用过程中,需求满意以下要求:
1.石墨治具应具有出色的导热性能,以保证芯片在作业过程中散热出色。
2.石墨治具的外表应光滑、平整,无划痕或凸起,防止对芯片构成危害。
3.石墨治具的规划应符合所承载的芯片尺寸和形状,以保证其稳定性和承载才能。
4.运用前应对石墨治具进行预热处理,以削减热冲击对其的影响。
5.运用后应对石墨治具进行清洁和维护,以坚持出色的作业情况和延伸其运用寿命。