半导体石墨模具的制造工艺

半导体石墨模具的制造工艺
    制造半导体石墨模具一般选用化学气相堆积（CVD）法。此办法是在高温下，通过特定气体在石墨基底上堆积出石墨层，然后进行切割和研磨，终究得到所需的石墨模具。此外，热解法制备石墨模具也是一种常见的办法，它通过热解有机前驱体，得到石墨资料，然后进行后续的加工处理。