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- 9 石墨坩埚在半导体制造中的应用
- 10 石墨坩埚的种类与特性
- 11 选石墨坩埚的原则
- 12 石墨坩埚的价值:从半导体制造到工业应用
石墨坩埚渣的清洗方法
发布作者:jcadmin 发布时间:2025年05月26日
石墨坩埚渣的清洗办法
石墨坩埚具有体积密度高、耐高温、传热快、耐酸碱腐蚀、高温强度高、氧化功用高级特征。但是,在熔化过程中,金属溶液中的添加剂和杂质会构成熔渣,熔渣会附着在坩埚壁上。由于炉渣中存在添加剂成分,它会腐蚀坩埚壁。因此,有必要每天根除一次炉渣。
石墨坩埚制造商标明,在炉渣凝集之前,应运用专用工具及时根除炉渣。凝集的炉渣很难去除,因此清洁时要留心,防止划伤坩埚壁。
当多层炉渣固化并留在坩埚壁上时,会腐蚀坩埚,影响其导热性,并在加热胀大过程中导致开裂,然后缩短坩埚的运用寿数。
我们可以用盐酸清洗,其间大部分是可溶的。一些含有碳成分的残留物不能被盐酸溶解。在这种情况下,硝酸可用于清洁,由于硝酸具有很强的氧化性,在清洁过程中可以恰当加热。
关于仍然难以清洁的物质,可以在稀盐酸或稀硝酸中煮沸。请注意,运用的盐酸不得含有硝酸、硝酸盐、卤素等氧化剂。假定稀硝酸不足以清洁,请运用偏硫酸氢钾、碳酸钠或硼砂进行熔化和清洁。
石墨坩埚表里都需求保持清洁和亮光。长期焚烧后,坩埚表面可能会变得又暗又钝,跟着时刻的推移,它可能会深入内部,导致坩埚变得易碎并分裂。因此,需求根除不洁净物质。假定表面仍有污渍或变黑,请运用经过筛子且无锐边和尖角的细砂,并用水悄然擦洗以康复其光泽。
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