单晶炉热场

在太阳能光伏行业，单晶炉热场的好坏直接关系到单晶硅的质量，合格的热场能够生长出高质量的单晶，因此创造良好的热场条件，在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。


在太阳能光伏行业，单晶炉热场的好坏直接关系到单晶硅的质量，合格的热场能够生长出高质量的单晶，因此创造良好的热场条件，在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体，石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。

　　根据实际情况的需要，热场的大小根据石英坩埚的直径大小来划分的，目前我国热场从φ12"~φ28"都有，一般情况下φ18"~φ22"居多。

　　我们在这里所讲的单晶炉的热系统就是所谓的热场，，热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、（三瓣式）石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，未来防止漏硅，炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。

石墨加热器
　　加热器是热场中很重要的部件，是直接发热体，温度最高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状，筒状、杯状、螺旋状。石墨接触到的单晶硅加热器形状一般都是直筒状的。一般情况下，加热器采用的高纯石墨加工。


　　石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重，结实耐用、表面要光滑平稳，保证良好的接触面，通电时不打火，石墨电极也是有高纯石墨加工的。

　　坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体，要求和下轴结合牢固，对中性良好在下轴进行转动时，托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。

　
　　保温罩分为上、中、下保温罩，保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成，石墨碳毡的包裹的层数根据情况而定。下保温罩组成了底部的保温系统，它作用是加强锅底保温，提高埚底温度，减少热量损失。

　

　　保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成，即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。

　
　　石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件，放置在盖板与炉壁接触处，是为了防止热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的通过。