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为什么在做半导体时石英坩埚要套上石墨坩埚的原因?

发布作者:jcadmin      发布时间:2023年10月28日

      仅仅会增加热阻,你放东西进去加热作用会变得很差。当然假设你套得十分十分紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上产生燃烧,石英坩埚因受热不均可能会导致出现裂缝 。
    石英坩埚可在1650度以下运用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单石英坩埚晶硅,是展开大规模集成电路必不可少的根底材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚代替了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、标准大、精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处。
    石墨坩埚的主体材料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。
    石墨坩埚具有超卓的热导性和耐高温性,在高温运用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有必定抗应变功用。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优异的化学安稳性。
    石墨坩埚,因具有以上优异的功用,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的操练和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济作用。
    直拉法出产单晶硅时的情况,石英坩埚为什么要套上石墨坩埚?
    首要起辅佐热场安稳性进行拉制单晶硅的作用
    1.石墨坩埚超卓的热安稳性
    2.石墨坩埚超卓的耐腐蚀、耐冲击功用、以确保产品质量的可靠性。
    3.石墨坩埚超卓的耐强酸 、强碱。
    4.石墨坩埚超卓的热传导功用:可以极大缩短熔炼时间,节约能源。
    5.石墨坩埚的灰分小于300pp,确保贵金属在操练中不被污染。
    具有超卓的中子减速功用,最早作为减速剂用于原子反应堆中,石墨反应堆是现在运用较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速材料应当具有高熔点、安稳、耐腐蚀的功用。