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- 2 石墨坩埚的使用温度范围
- 3 石墨坩埚制作及使用温度介绍
- 4 石墨坩埚的制作方法
- 5 石墨坩埚的耐高温性能非常出色
- 6 石墨坩埚的修复与再利用
- 7 石墨坩埚的存放与保养
- 8 石墨坩埚的操作规范
- 9 石墨坩埚的检查与维护
- 10 如何避免石墨坩埚加热时发生裂纹
- 11 石墨坩埚的使用建议
- 12 石墨坩埚的急速冷却
石墨坩埚在热场系统中的功能有哪些?
发布作者:jcadmin 发布时间:2023年10月28日
直拉法出产单晶硅是现在制备单晶硅的最首要办法,热场体系是硅资料成晶的最重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺畅地拉出单晶和操控单晶的质量好坏。因此热场的设计和改进对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。
石墨坩埚在热场体系中的功用 :
在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为要害核心部件的首要作用有如下几点:
(1)高温承载作用:装满多晶硅资料的石英坩埚要置于石墨坩埚里边,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等资料的重量,确保高温石英坩埚变软后,资料不会走漏出来,并且在拉晶过程中要承载资料做旋转运动,因此,对其力学功用要求比较高;
(2)传热作用:坩埚经过自身优秀的导热功用,传导多晶硅资料融化所需的热量,融化温度在1600℃左右,因此,坩埚有必要要有杰出的高温导热功用;
(3)安全作用:在紧急情况停炉时,因为多晶硅冷却时体积胀大(大约为10%),坩埚短时间内会接受很大的应力,因石墨资料自身的强度较低,石墨坩埚在这种情况下一般都会炸裂而报废,乃至损坏相邻部件乃至整个热场,因此石墨坩埚强度较低是单晶出产安稳的危险,急需更新换代,运用契合拉晶需求的抗折强度大的产品。
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