高纯石墨坩埚

跟着单晶硅向大尺度（如12英寸）、高纯度（如电子级）方向展开，高纯石墨坩埚将面临更高的功能要求。例如，大尺度坩埚需处理热应力分布不均导致的开裂问题，可通过碳纤维增强复合结构完结；高纯度需求则需进一步优化质料提纯工艺，将杂质含量降至10ppm以下。同时，绿色制造趋势推进坩埚回收再使用技术的展开，通过高温石墨化处理可完结废旧坩埚的再生使用，下降资源耗费。在技术迭代与市场需求的双重驱动下，高纯石墨坩埚将继续赋能单晶硅工业升级，成为半导体资料供应链中不可或缺的关键环节。