其他器件制造用的高纯石墨部件

其他器材制作用的高纯石墨部件
    提到器材和集成电路一般以硅器材（各种记忆单元、MPU)为代表，可是也有化合物半导体器材和LCD(液晶)。这类器材的制作装置也大多运用高纯石墨部件。下面仅介绍其间一部分。
   （1）化合物半导体器材。最常见的化合物半导体器材有发光二极管和半导体激光。图所示为发光二极管的制作工艺。
    这儿所运用的石墨制品有制作（化合物）单品棒时加热用的加热器和坩塌，以及外延生长置艺用的工装。工业上所运用的外延生长法有液相外延法（LPE）和有机金属CVD(MOCVD)法。图2-37所示的是LPE法。LPE法的工艺为把化合物单晶片置于石墨滑板上，使熔融的同成分化合物（元素合作比不同）单晶片逐层生长，熔融物的容器也用石墨材料。工艺过程中若有金属成分混入，将阻碍二极管/激光的发光，所以有必要运用高纯石墨部件。
    (2）液晶。当今，液晶制品已成为电子显示技术所不可或缺的器材，往后，其运用范围还会不断扩大。液晶器材的制作运用玻璃基板，因为在基板上构成回路的方法与硅器材基本相同，其工艺过程也大量地运用炭素制品，因为版面所限不再胪陈，但其大有作为。
   （3）液晶制作玻璃基板热处理用的石墨板。在对液晶显示装置用的玻璃基板进行缓冷处理时，运用内埋金属加热器的石墨板。为了避免石墨粉黏附在玻璃上，一般运用玻璃炭涂层石墨。别的，因为玻璃基板的平面度极为重要，要求石墨板自身的平面度要好。玻璃金属封
   （4）TFT型液晶显示用离子注入装置部件。作为液晶显示方式的一种，TFT方式是在Si薄膜上构成多个晶体管，可是需求添加掺杂物质的As或P。其做法与硅半导体相同也用离子注入法，部分装置也运用高纯石墨部件。因为离子束的冲击以及避免晶体管器材内混入掺杂物质以外的不纯物，也需求运用高纯石墨。