石墨盘零件,石墨盘定制,石墨加工,石墨制品,等静压石墨

在外延生长领域，高纯石墨盘是必不可少的。它在外延生长中起到加热和装载半导体晶圆的作用。目前，主流外延设备厂商配套的石墨盘在结构上基本相同，均采用在石墨盘基座上设计一个晶圆形状的浅凹槽的方式来装载晶圆。这种设计在生长小尺寸的晶圆(比如说4寸半导体晶圆)来说是合理的，维护起来也很方便。但对于生长大尺寸的外延片，基于降低晶圆被旋转的石墨盘甩出的风险，晶圆槽底部相对于石墨盘顶部的高度比小尺寸石墨盘大一些。